ECRPCVD制备类金刚石薄膜及ECR等离子体状态的研究

ECRPCVD制备类金刚石薄膜及ECR等离子体状态的研究

出版年：1992

作者：汪学毅

资源类型：图书

细分类型：学位论文

1浏览量

问图书管理员

点赞

收藏

访问借阅管理系统

金刚石薄膜的制备及其等离子体参数研究

作者：高克林
出版年：1990

基于新型MPCVD装置在面向等离子体部件表面制备金刚石薄膜及其性能研究

作者：耿传文
出版社：中国科学技术大学
出版年：2022

磁约束等离子炬装置研制及制备金刚石薄膜研究

作者：王守国
出版年：1997

微波等离子体CVD法制备金刚石膜的研究

作者：舒兴胜
出版年：2002

微波等离子体CVD制备高质量金刚石膜及应用的研究

作者：满卫东
出版年：2006

类金刚石薄膜的制备、结构与性能研究

作者：代海洋
ISBN：9787522107387
出版社：中国原子能出版社
出版年：2020