登录
 机构网站
  1. 首页
  2. 馆藏纸本
  3. 图书详情
...

投影光刻物镜高阶像差补偿系统的控制研究
出版社：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出版年：2022
作者：徐立松
资源类型：图书
细分类型：学位论文
1浏览量
 馆际互借
访问借阅管理系统
相关推荐
...

光刻投影物镜像差补偿器中压电执行器的驱动系统研究
  • 作者：王学亮
  • 出版社：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 出版年：2024
...

深紫外光刻投影物镜热像差仿真与主动补偿技术研究
  • 作者：姚长星
  • 出版年：2016
...

投影光刻物镜偏振像差研究
  • 作者：周泽龙
  • 出版年：2018
...

高数值孔径投影光刻物镜像质补偿策略与偏振像差研究
  • 作者：徐象如
  • 出版年：2017
...

亚微米投影光刻物镜设计及像质补偿研究
  • 作者：杨超
  • 出版社：中国科学院光电技术研究所
  • 出版年：2022
...

光刻投影物镜像质分析及补偿研究
  • 作者：杨旺
  • 出版年：2015