登录
 机构网站
  1. 首页
  2. 馆藏纸本
  3. 图书详情
...

高数值孔径投影光刻物镜像质补偿策略与偏振像差研究
出版年：2017
作者：徐象如
资源类型：图书
细分类型：学位论文
1浏览量
 馆际互借
访问借阅管理系统
相关推荐
...

高数值孔径光刻投影物镜成像理论及像质补偿和检测技术研究
  • 作者：于新峰
  • 出版社：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 出版年：2023
...

投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究
  • 作者：赵磊
  • 出版社：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
  • 出版年：2019
...

高数值孔径投影光刻物镜的光学设计
  • 作者：徐明飞
  • 出版年：2015
...

投影光刻物镜偏振像差研究
  • 作者：周泽龙
  • 出版年：2018
...

光刻投影物镜像质分析及补偿研究
  • 作者：杨旺
  • 出版年：2015
...

高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究
  • 作者：沈丽娜
  • 出版年：2016