相关推荐

高钪掺杂氮化铝压电材料及体声波谐振器研究

  • 作者:朱宇波
  • 出版社:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 出版年:2022

掺钪氮化铝薄膜体声波谐振器技术研究

  • 作者:赵佳
  • 出版社:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 出版年:2023

MEMS射频薄膜体声波谐振器(FBAR)研究

  • 作者:汤亮
  • 出版年:2009

薄膜体声波谐振器横向结构优化与仿真

  • 作者:张玲玲
  • 出版年:2017