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Chemical physics of thin film deposition processes for micro- and nano-technologies
出版社：Dordrecht ; Boston : Kluwer Academic Publishers, c2002.
ISBN：1402005245 RMB1447.41
出版年：2002
作者：Pauleau,Yves.
资源类型：图书
细分类型：西文文献
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Chemical physics of thin film deposition processes for micro- and nano-technologies
  • 作者：Pauleau,Yves.
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  • 出版社：Bellingham, Wash., USA : SPIE, c2005.
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Thin film chemical vapor deposition in electronics : equipment, methodology, and thin film growth ex
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  • 出版社：New York : Nova Science Publishers, Inc., [2014].
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