登录
 机构网站
  1. 首页
  2. 馆藏纸本
  3. 图书详情
...

高精度掩模版电子束光刻关键技术研究
出版年：2013
作者：王冠亚
资源类型：图书
细分类型：学位论文
1浏览量
 馆际互借
访问借阅管理系统
相关推荐
...

电子束光刻工艺技术研究
  • 作者：赵珉
  • 出版年：2009
...

极紫外光刻掩模关键技术研究
  • 作者：杜宇禅
  • 出版年：2013
...

高深宽比电子束光刻工艺研究
  • 作者：李有金
  • 出版社：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 出版年：2022
...

CAPS高精度定位关键技术研究
  • 作者：傅圣友
  • 出版社：中国科学院国家天文台
  • 出版年：2019
...

光刻机照明系统高精度光束稳定技术研究
  • 作者：王俊
  • 出版年：2014
...

基于高精度抖动补偿的星模拟器关键技术研究
  • 作者：杨永兴
  • 出版社：中国科学技术大学
  • 出版年：2022