登录
 机构网站
  1. 首页
  2. 馆藏纸本
  3. 图书详情
...

Chemical-mechanical planarization of semiconductor materials
出版社：Berlin ; New York : Springer, c2004.
ISBN：3540431810
出版年：2004
作者：Oliver,M. R.
资源类型：图书
细分类型：西文文献
1浏览量
 馆际互借
访问借阅管理系统
相关推荐
...

Fifth International Chemical-Mechanical Planarization for ULSI Multilevel Interconnection Conference
  • 作者：International Chemical-Mechanical Planarization for ULSI Multilevel Interconnection Conference
  • 出版社：[Tampa, Fla. IMIC Headquarters?, 2000].
  • 出版年：2000
...

Twelfth International Chemical-Mechanical Planarization for ULSI Multilevel Interconnection Conferen
  • 作者：International Chemical-Mechanical Planarization for ULSI Multilevel Interconnection Conference
  • 出版社：[Tampa, Fla. IMIC Headquarters?, 2007].
  • 出版年：2007
...

Chemical mechanical planarization of microelectronic materials
  • 作者：Steigerwald,Joseph M.
  • ISBN：0471138274
  • 出版社：New York : J. Wiley, c1997.
  • 出版年：1997
...

Chemical-mechanical planarization--integration, technology and reliability : symposium held March 28
  • 作者：Kumar,Ashok.
  • ISBN：1558998209
  • 出版社：Warrendale, Pa. : Materials Research Society, c2005.
  • 出版年：2005
...

Chemical-mechanical planarization : symposium held April 22-24, 2003, San Francisco, California, U.S
  • 作者：Boning,Duane S.
  • ISBN：1558997040
  • 出版社：Warrendale, Pa. : Materials Research Society, c2003.
  • 出版年：2003
...

Advances in chemical mechanical planarization (CMP)
  • 作者：Babu,Suryadevara,
  • ISBN：9780128217917
  • 出版社：Duxford, United Kingsom : Woodhead Publishing, 2022.
  • 出版年：2022