锑化镓和砷化铟衬底的抛光损伤及晶格完整性研究

锑化镓和砷化铟衬底的抛光损伤及晶格完整性研究

出版社：中国科学院半导体研究所

出版年：2023

作者：冯银红

资源类型：图书

细分类型：学位论文

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