锗晶体的硼离子注入工艺与晶格损伤研究

锗晶体的硼离子注入工艺与晶格损伤研究

出版社：中国科学院上海技术物理研究所

出版年：2024

作者：UM E Habiba

资源类型：图书

细分类型：学位论文

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