相关推荐

微波等离子体化学汽相沉积法金刚石生长和离子注入模拟研究

  • 作者:龚猛
  • 出版社:中国科学院半导体研究所
  • 出版年:2018

金刚石光电器件数值模拟和工艺研究

  • 作者:许敦洲
  • 出版社:中国科学院半导体研究所
  • 出版年:2023

类金刚石非晶碳薄膜的沉积机理研究

  • 作者:张随新
  • 出版社:中国科学院上海硅酸盐研究所
  • 出版年:1987