微波等离子体化学汽相沉积法金刚石生长和离子注入模拟研究

微波等离子体化学汽相沉积法金刚石生长和离子注入模拟研究

出版社：中国科学院半导体研究所

出版年：2018

作者：龚猛

资源类型：图书

细分类型：中文文献

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微波等离子体化学汽相沉积法单晶金刚石的研究

作者：付方彬
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