薄膜真空沉积中的等离子体探测方法与技术

薄膜真空沉积中的等离子体探测方法与技术

出版社：科学出版社

ISBN：9787030699152

出版年：2021

作者：陈吉堃

学科：物理学

资源类型：图书

细分类型：中文文献

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