辉光放电沉积非晶硅薄膜过程的等离子体发射光谱研究

辉光放电沉积非晶硅薄膜过程的等离子体发射光谱研究

出版社：中国科学院上海硅酸盐研究所

出版年：1987

作者：朱建明著

资源类型：图书

细分类型：中文文献

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