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IEEE the Eleventh Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems : an investigat
出版社：
[New York, N.Y.] : Institute of Electrical and Electronics Engineers ; Piscataway, N.J. : IEEE Servi
ISBN：
078034412X
出版年：
1998
作者：
IEEE Workshop on Micro Electro Mechanical Systems
资源类型：
图书
细分类型：
西文文献
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1999
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