美国密苏里大学的研究人员开发了一种更高效、更精确的制造计算机芯片的方法。传统上,工程师使用原子层沉积(ALD)技术在芯片表面涂覆超薄材料层,但这种方法会覆盖到不需要涂层的区域,影响芯片中数十亿个微小开关(晶体管)的工作。
为解决这一问题,密苏里大学团队开发了紫外光启用的原子层沉积(UV-ALD)。该方法利用紫外光精确控制涂覆材料层(通常是一种金属氧化物),从而减少制造步骤,节省时间和材料。
"我们的过程将传统的四到五步制造减少到只有两步,"密苏里大学工程学院和文理学院的助理教授Matthias Young说,“我们用紫外光使表面‘黏性’化,然后进行涂层。涂层只会附着在光照区域。”此外,新方法对环境也有益。“减少步骤意味着减少有害化学品的使用,”共同作者、博士后研究员Andreas Werbrouck表示。
该研究以题名“Ultraviolet Light-Induced Functional Group Formation on Molybdenum Disulfide for Patterned Atomic Layer Deposition”已发表在《化学材料》杂志上。