《在硅微电子中,研究简单可伸缩的石墨烯的直接方法》

  • 来源专题:纳米科技
  • 编译者: chenfang
  • 发布时间:2015-08-18
  • 汉城高丽大学的研究人员已经开发出一种简单的和微电子兼容的方法来生长石墨烯,并成功地合成了晶圆级(直径为四英寸),多层石墨烯出现在硅衬底上。该方法是基于离子注入技术,在该过程中,离子被加速下的电场和粉碎成半导体,是影响离子变化的物理,化学或电气性能的半导体。美国物理协会(AIP)的研究表明,石墨烯已经被深入地研究其独特的光学,机械,电气和结构性能等各个方面。一个原子厚的碳钢板可以彻底改变电子器件的制造和形成更快的晶体管的方式,更便合适的太阳能电池,传感器和更高效的新型生物传感装置。作为一个潜在的接触电极和互连材料,晶片规模的石墨烯可以是一个重要的组成部分,在微电子电路,但大多数的石墨烯的制造方法是不兼容的硅微电子。

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    • 美国物理协会(AIP)的研究表明,石墨烯已经被深入地研究其独特的光学,机械,电气和结构性能等各个方面。一个原子厚的碳钢板可以彻底改变电子器件的制造和形成更快的晶体管的方式,更便合适的太阳能电池,传感器和更高效的新型生物传感装置。作为一个潜在的接触电极和互连材料,晶片规模的石墨烯可以是一个重要的组成部分,在微电子电路,但大多数的石墨烯的制造方法是不兼容的硅微电子。汉城高丽大学的研究人员已经开发出一种简单的和微电子兼容的方法来生长石墨烯,并成功地合成了晶圆级(直径为四英寸),多层石墨烯出现在硅衬底上。该方法是基于离子注入技术,在该过程中,离子被加速下的电场和粉碎成半导体,是影响离子变化的物理,化学或电气性能的半导体。
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