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《泛林集团推出先进介电质填隙技术，推动下一代器件的发展》

  • 来源专题：集成电路
  • 编译者： shenxiang
  • 发布时间：2020-10-10

  • 近日，全球半导体产业创新晶圆制造设备及服务主要供应商泛林集团(Nasdaq: LRCX) 宣布推出一款全新的工艺方案——先进的Striker? FE平台——用于制造高深宽比的芯片架构。Striker FE平台采用了业界首创的ICEFill?技术，以填充新节点下3D NAND、DRAM和逻辑存储器的极端结构。不仅如此，该系统还具备更低的持续运行成本和更好的技术延展性，以满足半导体产业技术路线图的发展。

    半导体制造行业一直以来使用的填隙方法包括传统的化学气相沉积(CVD)、扩散/熔炉和旋涂工艺。然而，由于这些技术需要在质量、收缩率和填充率之间权衡取舍，因此已无法满足当前3D NAND的生产要求。相比之下，泛林集团的Striker ICEFill采用其独有的表面改性技术，可以实现高选择性自下而上及无缝的填隙，并保持原子层沉积(ALD)固有的成膜质量。 ICEFill技术能够解决3D NAND器件普遍存在的高深宽比填隙面临的限制，避免DRAM和逻辑器件结构倒塌的问题。

    泛林集团高级副总裁兼沉积产品事业部总经理Sesha Varadarajan表示： 我们致力于为客户提供最好的ALD技术。在单一工艺系统中，这项技术不仅能够以优异的填隙性能生产高质量氧化膜，还整合了泛林集团行业领先的四位一体的模块架构带来的生产率优势。

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  • 《美国NFWG推动的下一代技术》
    • 来源专题：可再生能源
    • 编译者：pengh
    • 发布时间：2020-05-07
    • 森特勒斯说，美国已经从世界上最大的核燃料出口国变成了世界上最大的进口国。报告补充称，美国铀矿开采、转化和浓缩能力的崩溃，极大地削弱了该国在核燃料市场的影响力，并由此削弱了美国坚持最高安全标准和核不扩散的筹码，以换取美国的核燃料出口。 Centrus总裁兼首席执行官Daniel Poneman欢迎对HALEU研发和完成NFWG报告中HALEU浓缩示范项目的支持。 “我们强烈支持优惠考虑美国保证燃料供应的扩张——包括unobligated浓缩铀——及其合并新的铀储备,使美国恢复其失去了自给自足的前端燃料循环,”他说。 去年7月成立了NFWG进行更全面的分析国家安全考虑对整个供应链核燃料后从两个美国总统决定Section 232请愿书铀矿工,能源燃料公司和Ur-Energy呼吁对铀的进口配额。该小组于4月23日发表的报告，重点是恢复国家安全任务所需的整个国内核燃料供应链。 “外国产的铀和外国拥有的铀浓缩和转化都受到其他国家政府的约束，禁止出于美国国家安全的目的使用它们。这就是为什么该报告呼吁支持不受限制的生产——即使用不受外国政府限制的美国技术生产——是如此重要，”森特勒斯说。 自2013年帕杜卡(Paducah)铀浓缩工厂关闭以来，美国一直没有铀浓缩能力来满足其对未探明铀的需求。 该公司表示，该报告还为Centrus代表美国能源部(DOE)在俄亥俄州部署用于演示HALEU生产的离心机的工作提供了有力支持。Centrus去年11月与美国能源部签署了一份为期三年的合同，将部署一系列离心机，以演示为先进反应堆生产HALEU燃料。Centrus表示，要想让中国富有创新精神的先进反应堆设计师能够在全球市场上与得到大型国有铀浓缩企业支持的外国公司竞争，建立一个可靠的美国核燃料来源至关重要。 长期的关系 NEI总裁兼首席执行官Maria Korsnick说，NFWG建议的行动将加强国家安全，维持一个有弹性的能源系统，并使国家走上清洁环境的道路。 科尔斯尼克说，对下一代技术和先进燃料开发的支持将“推动整个行业的创新，并保持美国在这一战略领域的竞争力”。她补充说，加强出口融资、加强出口协调和向美国企业开放新市场的行动，“将使美国能够通过核能出口和技术合作培育100年的关系”。 “我们赞赏对现有核舰队面临的经济挑战的持续关注。然而，我们应该采取更多的行动来保护今天还在运转的工厂，我们将继续与国会合作，以确保该行业被包括在税收抵免和其他激励能源行业的立法提案中。”
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  • 《珠海出台12条新措施 支持新一代信息技术产业发展》
    • 来源专题：集成电路
    • 编译者：shenxiang
    • 发布时间：2018-11-16
    • 今年8月，珠海市政府与富士康科技集团签署战略合作协议，双方将在半导体设计服务、半导体设备及芯片设计等方面开展合作；在珠海高新区，英诺赛科、鼎泰芯源、普林芯驰、中芯集成电路等数十家半导体材料、IC设计企业集聚，形成上下游良性联动的集成电路产业链…… 以上述优质企业为代表的珠海信息产业，将迎来全新的发展机遇。近日，珠海市政府常务会议审议并原则通过了《珠海市促进新一代信息技术产业发展的若干政策》（以下简称《政策》），《政策》共推出12条措施，支持珠海在做大做强软件和集成电路设计业的同时，大力发展大数据、人工智能等智慧产业，以及智能硬件、5G、信息安全等新兴产业，打造未来的产业增长支柱。 根据部署，珠海计划于2019年设立《政策》所需的产业专项资金，连续三年每年投入约7000万元用于补助和奖励，支持新一代信息技术产业发展。珠海市科技和工业信息化局局长贺军表示，12条政策条款以较高标准来核定奖补方案，对信息产业支持力度大。 势头 优势产业增速排名全国第三 根据珠海市政府与富士康签署的协议，富士康将立足集成电路产业，面向工业互联网、8K+5G、AI等新世代高性能芯片的应用需求，与珠海市在半导体产业领域开展战略合作，推动珠海打造成为半导体服务产业发展的重要基地。 信息产业是地方经济稳增长、促就业和调结构的重要支撑，也是珠海重点打造的龙头支柱产业之一。近年来，珠海促进信息产业规模稳步增长，已形成了以智能终端制造、软件和集成电路设计为重点的信息产业体系，该产业呈现出产业规模稳步增长、布局基本成形、骨干企业快速成长等发展趋势。 数据显示，今年1-8月，珠海电子信息制造业实现规模以上工业总产值574亿元，同比增长7.7%；规模以上工业增加值129亿元，同比增加10.3%。同时，软件和信息技术服务业实现业务收入413.87亿元，同比增长17.43%；集成电路设计服务收入24.2亿元，同比增长24%。 值得一提的是，珠海集成电路设计产业去年规模达46亿元，在全国集成电路设计产业规模最大的10个城市中位列第9，产业增速排名全国第3。 信息产业的快速发展并非无源之水。近年来，珠海先后出台了《关于发展软件产业的若干规定》《加快高端新型电子信息产业发展的意见》《进一步促进我市软件和集成电路设计产业发展的意见》等一系列扶持政策，并设立专项资金，扶持信息产业发展。 尽管综合实力不断增强，新兴业态成长迅猛，但在业内人士看来，珠海信息技术产业发展仍面临诸多困难和短板。“结构相对单一、产业规模增长缺乏动力，亟须寻找新的增长点，这是当前珠海信息产业在迈向更高质量发展道路上所面临的瓶颈和难题。” “随着产业向纵深发展，城市之间的竞争加剧，珠海原有的信息产业扶持政策已无法满足产业发展的需求，亟须出台新的产业扶持政策。”贺军坦言。 路径 新措施助力做长做强产业链 根据珠海市委、市政府的工作部署和《珠海市信息产业发展规划（2017-2021年）》指引，《珠海市促进新一代信息技术产业发展的若干政策》针对当前珠海信息产业发展的痛点，结合国家战略方向和产业发展趋势，提出支持新一代信息技术产业发展的12条措施，促进产业链上下联动，打造珠海经济未来增长支柱。 根据《政策》，珠海将重点支持集成电路产业的发展，在原有支持集成电路设计企业流片、购买EDA工具、租用公共技术服务的扶持内容基础上，新增购买IP补贴，集成电路产品晶圆制造、封测服务补贴，支持集成电路产业链联动发展的内容，以巩固珠海集成电路设计产业发展优势，做长做强产业链。 与此同时，《政策》对企业获得国家科技重大专项给予一定比例的资金配套，支持企业承担国家级科技重大项目。据悉，为鼓励企业承担国家（省）科技重大专项、信息化和信息产业发展重大专项等新一代信息技术产业化项目，珠海将给予其所获立项金额一定比例的配套补贴，每年最高500万元。 按照国家、省发展新一代信息技术产业的方向，《政策》重点支持物联网、云计算、大数据、人工智能、信息安全等新兴业态发展。同时，珠海还将对中小企业租用信息技术公共技术服务给予补贴，支持公共技术服务平台的条件建设，构建完善的公共技术服务环境。 值得一提的是，《政策》所需的产业专项资金自2019年起设立，政策有效期3年，每年资金规模约为7000万元，支持方式主要采取补助和奖励方式。 贺军介绍，珠海市科工信局对深圳、广州、东莞等周边地区以及北京、上海、无锡、厦门、合肥、杭州等城市最新出台的产业政策进行了梳理和对比，对部分奖补标准进行了重新调整，增加了相关条款，并提高了奖补标准。“目前，除财政部门对产业扶持资金奖补有上限要求外，《政策》的其余政策条款基本能达到‘珠三角最优’。” 力度 高标准奖补支持工业互联网建设 资金奖补倾斜力度大，是本次新政的一大亮点。 《政策》提出，要充分发挥珠海发展投资基金的引领和撬动作用，引导社会资本、产业资本和金融资本投向新一代信息技术全产业链的重大项目建设，并积极争取包括国家大基金在内的各类产业基金的支持，鼓励银行业金融机构对集成电路企业给予信贷倾斜。 为加快完善新一代信息技术全产业链，《政策》明确提出，支持云计算、大数据产业发展，支持云计算中心、大数据中心、大数据产业园区建设自备电厂，通过直供电、电费补贴等方式降低要素成本，对云计算中心、大数据中心自用宽带租赁费给予50%的补贴。 同时，《政策》明确，对单个云计算中心、大数据中心、大数据产业园区，连续三年每年给予补贴100万元。 当前，互联网发展正由消费互联网转向工业互联网，工业互联网成了制造业竞争的新制高点。鉴于工业互联网发展与新一代信息技术产业发展密切相关，因此《政策》特别将支持工业互联网、企业“上云上平台”、两化融合发展的内容一并纳入政策体系当中。 比如，《政策》明确，对经评定的工业互联网平台、标杆示范项目分别给予300万元、150万元的奖励；支持工业互联网产业示范基地建设，对经国家、省评定的工业互联网产业示范基地，分别给予800万元、500万元的奖励。 同时，对上年度主营业务收入达500万元以上的工业企业核心业务系统“上云上平台”，《政策》也明确了将对企业的应用服务费、设备接入费、网络改造费等给予补贴，以鼓励工业企业利用信息化技术推进工业制造转型，实现产能提升。
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