圣彼得堡近日创建了一个国内光刻综合体，包括一台在基板上进行无掩模图像采集和硅等离子化学蚀刻的设备。据开发人员称，这台用于无掩模纳米光刻的机器成本约为500万卢布（约合36.74万人民币），而国外同类产品的价值高达数十亿卢布。
圣彼得堡彼得大帝理工大学（SPbPU）的专家表示，他们已经成功开发了两套用于生产微电子纳米结构的装置，这将有助于解决俄罗斯在微电子领域的技术主权问题。这个设备综合体包括用于无掩模纳米光刻和硅等离子体化学蚀刻的设备。
第一种装置用于在基板上获取图像，无需使用特殊的掩模。开发人员表示，与传统光刻技术相比，这项技术在金钱和时间方面更加经济实惠，因为传统光刻技术需要使用专门的光罩来获得图像。这个装置通过专门的软件控制，实现了完全自动化。
第二种装置利用第一阶段中创建的基材上的图案。它的主要用途是直接形成纳米结构，但也可以创建硅膜，例如用于船舶表压传感器等应用。
据开发人员表示，与传统光刻技术相比，X射线光刻机在金钱和时间方面更加经济实惠，因为传统光刻技术需要使用专门的光罩来获得图像。而X射线光刻机则无需光掩模就能生产芯片。
据报道，这类装置的估计成本约为500万卢布，相当于许多常规汽车的价格。而国外同类设备的成本据称要比该项目研发的设备高出数十倍，预计在100至130亿卢布之间。
该项目负责人表示，使用这种装置创建的膜在可靠性和灵敏度方面优于液体或激光蚀刻生产的膜。他们还强调，这是完全国产的产品。关于俄罗斯自研的蚀刻机的具体成本并未透露。
