《碳化硅高功率高频率电子设备上的薄氮化镓》

  • 来源专题:半导体工艺技术
  • 编译者: shenxiang
  • 发布时间:2018-10-09
  • 瑞典的研究人员在碳化硅(SiC)上开发了更薄的III族氮化物结构,以期获得高功率和高频薄的高电子迁移率晶体管(T-HEMT)和其他器件。新结构采用高质量的60nm无晶界氮化铝(AlN)成核层,而不是大约1-2μm厚的氮化镓(GaN)缓冲层,以避免大面积扩展缺陷 成核层允许高质量的GaN在0.2μm内生长。

    通常厚的缓冲层用于转变和减少由GaN和SiC之间3.5%晶格失配引起的缺陷,但厚层为高功率和高频设备带来了问题。

    来自SweGaN AB查尔姆斯理工大学和林雪平大学的团队评论说:“较薄的器件具有较低的热阻,从而改善热管理。所需昂贵材料的减少也是工作的一大吸引力,我们的研究人员估计,包括前体和气体在内的原材料减少了90%,同时所需的生长时间减少,处理成本因此降低。”

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