《苏州纳米所在硅衬底InGaN基半导体激光器方面取得重要进展》

  • 来源专题:集成电路
  • 编译者: tengfei
  • 发布时间:2016-09-01
  • 硅是半导体行业最常见的材料,基于硅材料的电子芯片被广泛应用于日常生活的各种设备中,从智能手机、电脑到汽车、飞机、卫星等。随着技术的发展,研究者发现通过传统的电气互联来进行芯片与系统之间的通信已经难以满足电子器件之间更快的通信速度以及更复杂系统的要求。为解决这一问题,“光”被认为是一种非常有潜力的超高速传输媒介,可用于硅基芯片以及系统间的数据通信。但是,硅作为间接带隙材料,发光效率极低,难以直接作为发光材料。研究人员提出利用具有高发光效率的III-V族材料作为发光材料,生长或者键合在硅衬底上,从而实现硅基光电集成。III族氮化物材料是一种直接带隙材料,具有禁带宽度宽、化学稳定性强、击穿电场高以及热导率高等优点,在高效发光器件以及功率电子器件等领域有着广泛的应用前景,近年来已成为一大研究热点。将InGaN基激光器直接生长在硅衬底材料上,为GaN基光电子器件与硅基光电子器件的有机集成提供了可能。另一方面,自1996年问世以来,InGaN基激光器在二十多年里得到了快速的发展,其应用范围遍及信息存储、照明、激光显示、可见光通信、海底通信以及生物医疗等领域。目前几乎所有的InGaN基激光器均是利用昂贵的自支撑GaN衬底进行制备,限制了其应用范围。硅衬底具有成本低、热导率高以及晶圆尺寸大等优点,如果能够在硅衬底上制备InGaN基激光器,将有效降低其生产成本,从而进一步推广其应用。 由于GaN材料与硅衬底之间存在着巨大的晶格常数失配和热膨胀系数失配,直接在硅衬底上生长GaN材料会导致GaN薄膜位错密度高并且容易产生裂纹,因此硅衬底InGaN基激光器难以制备。该研究方向是目前国际上的研究热点,但是到目前为止,仅有文章报道了在光泵浦条件下硅衬底上InGaN基多量子阱发光结构的激射。

    针对这一关键科学技术问题,中国科学院苏州纳米所杨辉研究员领导的III族氮化物半导体材料与器件研究团队,采用AlN/AlGaN缓冲层结构,有效降低位错密度的同时,成功抑制了因硅与GaN材料之间热膨胀系数失配而常常引起的裂纹,在硅衬底上成功生长了厚度达到6 μm左右的InGaN基激光器结构,位错密度小于6×108 cm-2,并通过器件工艺,成功实现了世界上首个室温连续电注入条件下激射的硅衬底InGaN基激光器,激射波长为413 nm,阈值电流密度为4.7 kA/cm2。

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    • 中国苏州纳米技术与纳米仿生研究所(SINANO)已在硅上使用n型脊形波导(nRW)制造了氮化铟镓(InGaN)发射紫光的激光二极管(LDs),与pRW LDs相比,其电阻更低,热性能更好。普通工艺要求基于InGaN的激光二极管中的RW位于器件的p侧,但p-GaN的电阻比n-GaN的电阻大得多,因此出现了热和电问题。 该团队认为nRW-LD器件可以与大规模的硅基互补金属氧化物半导体(CMOS)主流电子产品完全兼容,并且可以在单片集成硅光子学中用作高效的片上光源,以实现高功率加快数据通信和计算速度。 RW-LD的III-氮化物异质结构在硅上生长,并控制穿线错位密度。激光二极管结构由夹在波导层之间的五个InGaN量子阱组成。将激光二极管结构的p面朝下键合到具有p型欧姆接触电极表面的精确Si(100)晶片上。倒置的RW-LD结构使包层的n型侧面约为0.5μm。在非倒置结构中,n覆层位于厚GaN模板的顶部,倒置RW-LD覆层的p侧较厚,为1.2μm。最终将键合材料制成10μmx800μmRW-LD器件。 研究人员表示低热导率的n型AlGaN包层厚度减小可以降低由于AlGaN和GaN模板之间晶格失配而产生的热阻和拉应力,从而提高器件性能和制造成品率。 在-5V反向偏置下,反向泄漏电流为?10-7A。开启电压约为3.0V。反向nRW-LD注入350mA时的差分电阻为1.2Ω,反向器件的热阻估计为18.2K / W。在350mA下连续波(CW)操作下的结温为48.5°C。 在100mA注入时,nRW-LD结构的半峰全宽(FWHM)光谱线为12nm。在320mA时,线宽缩小到0.8nm,在阈值处给出的激光模式波长为418.3nm。
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    • 来源专题:中国科学院亮点监测
    • 编译者:yanyf@mail.las.ac.cn
    • 发布时间:2018-10-17
    •         锑化物半导体激光可以实现1.8μm-4μm的中红外波段激光输出,具有体积小、效率高、电驱动直接发光等优点,是中红外激光技术领域的前沿研究热点,在红外光电技术、化学气体及危险品监测等领域具有重要应用前景,并可作为中红外光纤激光器的种子源和同带泵浦光源。然而,由于锑化物半导体材料较低的热导率和高空穴迁移率导致的侧向载流子泄露,使得锑化物半导体激光器效率低、光束质量差、温度稳定性差。         最近,长春光机所佟存柱研究员团队与中国科学院半导体所牛智川研究员团队合作,提出了锑化物微脊宽区波导结构,有效抑制了载流子侧向泄露和累积,将1.96?m波长的锑化物激光器最高能量转换效率由9.8%提高到30.5%,连续输出功率超过了1.28W,侧向光束质量改善了36%,阈值、温度特性和电流对远场的影响都得到明显改善,该研究为高亮度锑化物半导体激光器的实现提供了一种可行的技术方案,成果发表于Applied Physics Express,11, 032702 (2018),被加拿大Advances in Engineering选为工程进展领域有创新性的重要科学论文 (Key Scientific Article),并予以特别报道。         Advances in Engineering (AIE) 是一个成立于2005年的加拿大科技组织,旨在及时快速地将能够为人类造福的工程领域重要科学成果和创新技术在全球范围迅速传播,其主要的读者和受众是受过良好教育的工程和物理界科学家、教授和学生。AIE每周会经过国际专家顾问组高度筛选,从全球工程领域发表的文献中选出不到20篇的优秀论文进行特别报道,方向包括材料工程、化学工程、电子工程、机械工程、纳米技术、土木工程和通用工程,被选中的论文需要具有特殊的科学重要性并能够被广大科学读者所理解,入选率少于千分之一。AIE除受到全球主要研究机构的关注外,也被全球排名前50位的工程公司所链接,用于跟踪突破性科技进展。    该工作获得国家自然科学基金委重大项目“锑化物低维结构中红外激光器基础理论与关键技术”的资助。