《国产芯片再获新技术,无需EUV光刻机也能实现7纳米,ASML慌了》

  • 来源专题:数控机床与工业机器人
  • 编译者: icad
  • 发布时间:2023-02-16
  • 美国眼见着中国已量产14纳米,开始不断收紧限制,最近更是拉拢了ASML、尼康等光刻机企业,试图从先进光刻机上着手,阻止中国研发更先进的10纳米、7纳米技术,然而近期中国有芯片企业却公布了一项新技术,可以用现有的DUV光刻机就能量产10纳米乃至7纳米工艺。
    据悉中国一家芯片企业已研发了一项SAQP技术,这项技术可以利用现有的DUV光刻机开发出10纳米工艺,证明中国基于现有的芯片设备在芯片制造工艺方面又迈出了重要一步。
    业界人士指出SAQP技术不仅可以利用现有的DUV光刻机开发10纳米工艺,还能进一步开发出7纳米工艺。这是完全有可行性的,日本的NIL工艺就无需EUV光刻机可以开发出5纳米工艺,美光开发的1-beta工艺也无需EUV光刻机,台积电第一代7纳米工艺同样是以DUV光刻机生产。
    SAQP全称是四重曝光技术,即使以现有的DUV光刻机经过多重曝光,最终实现10纳米乃至7纳米的量产,这样的方式可以有效降低成本,毕竟EUV光刻机的价格可是DUV光刻机的数倍,美光选择绕开EUV光刻机就是为了节省成本,而性能方面却能接近EUV光刻机的工艺。
    如今中国也成功研发出无需EUV光刻机的先进工艺,对于中国芯片来说无疑是巨大的进步,尤其是这种方式还能大幅降低先进工艺的成本,有助于增强中国芯片的竞争力,此前美国家电制造商就认可了中国芯片的超低成本优势,这是中国芯片所特有的竞争优势。
    中国开发的SAQP技术,说到底还是基于现有的硅基芯片技术,而硅基芯片以美国为首的西方经济体近百年的积累,让他们拥有了足够的领先优势,中国在硅基芯片技术上终究只能成为跟随者,为了真正实现赶超,中国已开始研发更先进的芯片技术。
    中国已分别筹建了全球第一条光子芯片生产线、量子芯片生产线,这将推动这两项先进芯片技术早日实现商用,这些芯片技术可以将芯片性能提升千倍,而功耗大幅下降,这才是未来的先进芯片技术。
    另一项先进芯片技术被称为石墨烯技术,中国同样也在推进,并已有多家中国企业取得石墨烯技术专利;美国也在力推石墨烯芯片技术,美国一家初创芯片企业表示在现有硅基芯片注入碳纳米管,以90纳米生产的芯片性能却比7纳米芯片提升50倍性能。
    这些先进芯片的技术商用,将彻底变革当下的硅基芯片技术,将再也无需EUV光刻机等先进光刻机,这对于ASML无疑将是巨大的打击。事实上ASML也已认识到它的第二代EUV光刻机量产,基本就已经到了硅基芯片的极限,全球芯片行业需要引入更先进的芯片技术,而中国加速了这些先进芯片技术的推进,将让ASML的辉煌提前结束。
    中国芯片这几年的表现显示出中国芯片所具有的强大技术实力,如今在美国的压迫下,中国芯片行业已被激发了巨大的潜力,不断加速各种先进芯片技术的发展,一旦这些先进芯片技术实现商用,那么中国将取得领先优势,将再也不会受制于美国。
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  • 原文来源:http://www.chinaaet.com/article/3000159133
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  • 《再度突破,哈工大公布重要光刻机技术,国产芯片有望实现7纳米》

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    • 编译者:husisi
    • 发布时间:2023-02-20
    • 光刻机已是当下中国芯片制造的最大瓶颈,为此中国芯片产业链一直都在共同努力,力求打破这一难关,而哈工大公布的光刻机技术将有助于打破这个环节,国产芯片的先进工艺问题将因此得以解决。 光刻机的研发难度非常大,虽然全球仅有ASML可以生产出先进光刻机,然而ASML自身也无法完全搞定整个光刻机元件,它自己仅能完成其中10%的零部件,其他零部件需要全球20多个国家的5000多家企业配合,由此可见光刻机这条产业链多么长。 中国的光刻机研发进展落后于其他环节,恰恰就在于产业链需要逐步完善,由于众所周知的原因,中国不仅难以买到先进光刻机,连先进光刻机的元件都难以买到,迫使我们建设自己的光刻机产业链。 此前在国内产业链的支持下,已逐步解决了双工作台、物镜系统、激光光源等诸多光刻机零部件,这次哈工大研发的“高速超精密激光干涉仪”,这项技术是14纳米光刻机的重要技术,可以确保掩膜工作台、双工作台和物镜系统之间复杂的相对位置,实现光刻机的整体套刻精度,可以确保诸多元件整合成系统后的芯片工艺精度,已是光刻机的最后技术之一,也意味着国产先进光刻机即将完成最后的步骤。 对于芯片制造工艺来说,14纳米光刻机并不仅限于生产14纳米工艺,通过多重曝光技术可以实现接近7纳米的工艺,其实此前台积电和三星都并非是从14纳米一步迈进到7纳米,还研发了10纳米、8纳米等工艺,甚至在7纳米工艺上也有7纳米和7纳米EUV之分,故以14纳米光刻机生产接近7纳米工艺的芯片是有可能的。 国产芯片除了在芯片制造工艺方面努力之外,还积极开发小芯片技术,通过将两块芯片堆叠可以大幅提升性能;将不同工艺、不同功能的芯片封装在一起也能大幅提升性能,这些技术台积电、Intel都在尝试,因为当前的硅基芯片达到3纳米之后已接近极限,开发芯片封装技术已成为芯片行业发展的一个方向。 国产芯片制造工艺如果能达到7纳米,加上小芯片技术,那么国产芯片的性能可望进一步提升至接近5纳米,到那个时候,困扰国产芯片的最大障碍将被彻底解决,美国意图以先进芯片技术阻碍中国科技体系发展的图谋将破产。 其实国产芯片如今在多条途径上发展先进芯片,上述这些都是基于现有的硅基芯片技术,而欧美发展硅基芯片技术已有近百年历史,这让他们在硅基芯片方面保持着领先优势,中国除了在硅基芯片上加快追赶之外,还在开发更先进的芯片技术,如量子芯片、光子芯片、碳基芯片技术等,这将是中国芯片弯道超车的机会。 在这些先进芯片技术方面,中国已取得一些优势,2022年底至今,中国已先后筹建了全球第一条量子芯片生产线、光子芯片生产线,凸显出中国在先进芯片技术方面的突破,这些先进芯片技术在加速推进量产,一旦实现商用就将具有赶超欧美的实力。 总的来说美国阻碍中国芯片产业发展的计划已不可能,反而是激发了中国芯片行业的潜力,短短数年时间在诸多芯片技术方面都取得突破,中国芯片或许在不久的将来打破美国在芯片技术方面的领先优势,正是有见及此,美国才会在诸多技术方面施加限制,反过来恰恰说明了中国芯片确实取得了巨大的进展,让它深感威胁。