《日本东京都立大学制备出基于过渡金属二硫化物的多层面内异质结构》

  • 来源专题:集成电路
  • 编译者: 李衍
  • 发布时间:2023-05-04
  • 据EurekAlert网4月22日消息,日本东京都立大学研究团队制备出过渡金属二硫化物(TMDC)的多层纳米结构,这些纳米结构在平面内连接形成多层面内异质结构,可用于制造高性能隧道场效应晶体管(TFET)。研究人员使用化学气相沉积(CVD)技术,从安装在基板上的堆叠晶面(掺杂铌的二硫化钼碎片)边缘生长出不同的TMDC多层纳米结构,使TMDC之间形成厚pn结,具有前所未有的高载流子浓度。相关研究成果发表在《ACS纳米》(ACS Nano)期刊上。

    场效应晶体管(FET)是几乎所有数字电路中的重要部件,根据施加的电压控制电流。尽管金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)目前在市场上占据主导地位,但研究人员正在寻找下一代材料,以制造越来越高效、紧凑、功耗更低的器件。隧穿场效应晶体管(TFET)是一种很有前途的替代方案,它依赖于量子隧穿,使电子能够通过由于量子力学效应而看似无法通过的势垒。然而,真正实现这种技术仍然是一个挑战。

    日本东京都立大学(Tokyo Metropolitan University,TMU)副教授Yasumitsu Miyata领导的研究团队专注于用过渡金属二硫属化合物(TMDCs)制造纳米结构,TMDCs是过渡金属和第16族元素的混合物,TMDC因其独特的财产而成为TFET的理想候选产品。研究人员在将单原子厚的晶体TMDC片层缝合在一起方面取得了显著的成功,现在他们已经将重点转移到多层TMDC结构上。利用化学气相沉积(CVD),他们可以从安装在衬底上的堆叠晶面边缘生长不同的TMDC,从而形成具有多层的平面内结。先前关于TMDC结的工作主要涉及堆叠在一起的单层,因为事实证明,在平面内结中难以实现TFET所需的高空穴和电子浓度。

    在使用二硒化钨生长的二硫化钼验证了该技术后,研究人员转向了掺杂铌的二硫化钼,一种p型半导体。通过生长出未掺杂的二硫化钼(一种n型半导体)的多层结构,该团队在具有异常高载流子浓度的TMDC之间形成了厚的p-n平面结。他们还发现,该结表现出负微分电阻(NDR)趋势,这是隧道的一个关键特征,也是将这些纳米材料掺入TFET的关键第一步。值得注意的是,该团队的方法在大面积上是可扩展的,因此适用于电路制造。这一突破性的发展为现代电子的未来带来了巨大的希望,预计这些创新材料将进入各种应用。

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