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《打破国外垄断！中国造电子级多晶硅实现原料端彻底祛除和控制杂质》

  • 来源专题：中国科学院文献情报制造与材料知识资源中心 | 领域情报网
  • 编译者： 姜山
  • 发布时间：2017-11-09

  • 在8日举行的徐州经济技术开发区半导体产业论坛上，江苏鑫华半导体材料公司发布新品——电子级多晶硅。该产品打破了国外高纯度硅材料的垄断，并填补国内的技术和产业空白。

    电子级多晶硅是最高纯度等级的多晶硅产品，是半导体产业链的关键基础材料，多年来我国主要依赖进口。江苏鑫华半导体公司历经317次生产实验，对629项技术、设备优化改进，通过对原料纯化系统的重新设计，实现了原料端彻底祛除和控制杂质。

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  • 《中国量产电子级多晶硅企业产能扩增至3300吨/年》
    • 来源专题：中国科学院文献情报先进能源知识资源中心 |领域情报网
    • 编译者：guokm
    • 发布时间：2020-12-12
    • 记者11日从国家电投黄河水电公司(以下称“黄河公司”)获悉，该公司新增800吨电子级多晶硅产线首批产品10日出炉，标志着中国量产电子级多晶硅企业产能从2500吨/年扩增至3300吨/年，打破了国外垄断和中国集成电路基础原材料主要依赖进口的局面，对保障中国集成电路产业原材料战略安全具有里程碑意义。 多晶硅材料作为集成电路基础材料的最前端，生产技术和市场一直被国外垄断，成为中国发展集成电路产业的瓶颈。 黄河公司新能源分公司副总经理张永良介绍，本次技改项目糅合了多项如除硼吸附、渣浆回收等新型工艺和技术，在发挥原有2500吨/年多晶硅装置生产能力的前提下，通过新增棒还原炉，对原有尾气回收、还原、冷氢化、精馏、精整等6项装置进行工艺系统优化改进和技术改造，相继解决了还原电耗高、尾气回收装置处理能力有限等问题，将产能提升至3300吨/年，使国内市场占有率超过15%，真正实现了电子级多晶硅的“中国制造”。 “多晶硅生产洁净区域和工艺系统的施工安装洁净度直接影响着成品的质量，为此，我们对施工过程洁净质量进行了严格控制，实现了4台技改装置均一次开车成功，这在国内整个行业都实属罕见。”该技改项目组副主任危胜说。 张永良表示，项目一次性试车成功并顺利产出了产品，标志着公司已掌握了电子级多晶硅的生产工艺和质量管控的技术能力，下一步将会对出炉产品进行纯度检测，根据杂质含量持续优化设备和工艺参数，提升电子级产品的产出率。
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  • 《纯度99.999999999％电子级多晶硅量产》
    • 来源专题：中国科学院文献情报制造与材料知识资源中心 | 领域情报网
    • 编译者：冯瑞华
    • 发布时间：2018-06-07
    • 纯度要求达到99.999999999％的电子级多晶硅终于量产。记者6日从江苏鑫华半导体材料科技有限公司获悉，经过一系列严格验证、检测，近日一批集成电路用高纯度硅料出口韩国，同时也向国内部分晶圆加工厂批量供货。这标志着我国半导体集成电路用硅料已经达到国际一流质量标准，也是我国多晶硅制造企业首次向国际市场出口集成电路用高纯度硅料。 电子级多晶硅材料是集成电路的关键基础材料，过去中国市场上的集成电路用多晶硅材料基本完全依赖进口。电子级多晶硅是纯度最高的多晶硅材料。相对于太阳能级多晶硅99.9999％纯度，电子级多晶硅的纯度要求达到99.999999999％。5000吨的电子级多晶硅中总的杂质含量相当于一枚1元硬币的重量。 2015年12月，鑫华半导体由国家集成电路产业投资基金联手保利协鑫共同投资，建设国内首条5000吨半导体集成电路专用电子级多晶硅生产线。去年11月8日，协鑫旗下鑫华半导体正式发布电子级多晶硅产品。 目前，该电子级多晶硅已通过客户验证并形成规模化销售，打破长期以来国外高纯度材料垄断，填补该产业国内技术空白。鑫华半导体公司第一条生产线的产能为5000吨，可保证国内企业3至5年内电子级多晶硅不会缺货，产品质量满足40nm及以下极大规模集成电路用12英寸单晶制造需求。同时，还将规划再上一条5000吨生产线，以更好地满足国际国内市场。
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