利用同步加速器x射线微衍射分析了在室温下气溶胶沉积在钢基板上的BaTiO3陶瓷膜的厚度对残余应力的影响。梯度在通过电影和最大应力分布是明显的双轴压应力作用观察800−?MPa的接口。由于薄膜与衬底之间的热膨胀失配,热处理被发现可以放松内部的压缩应力。铁电反应的变化与热处理后应力状态的变化有关。这一分析对于开发具有AD薄膜的微纳米电子器件至关重要
——文章发布于2018年12月