解决方案处理三元和multinary非晶态金属氧化物绝缘体在加工温度低于250°C仍然具有挑战性。在此，我们报道了一种混合簇结构的合成，其中金属氧化物核由配体配合，不同的金属元素组成一个核心，是一种有效的三元拉扎绝缘子低温处理策略。Solvothermal治疗160 - 180°C促进集群的发展结构。从集群前体、高性能绝缘LaZrO电影获得在200°C下紫外线的照射。分析数据表明，solvo热处理导致了金属氧化物网络的结构统一，并促进了UV退火过程中残余有机成分的稳定，这两者都有助于提高LaZrO的绝缘性能。加上solution-processed通道,我们已经能够制造LaZrO-based晶体管在200°C。尽管通道材料没有优化,晶体管栅泄漏电流显示低约10 pA的工作电压15 V,106点附近的开/关比,0.37厘米2 V的场效应饱和流动−1−1,0.61 V的阈下摇摆因素10−1。
——文章发布于2018年4月12日
