在美国举行的Photonics West 2020上,Plessey开发了用于增强现实和混合现实(AR / MR)显示应用的嵌入式微型LED技术。Plessey将与Axus Technology一起将高性能硅基氮化镓单片Micro LED技术推向大众市场。
Plessey表示,它将继续在制造设施上进行大量投资,并从Axus购买金属及氧化物化学机械抛光(CMP)以及相关工具,其专有Micro LED显示的生产能力,实现Micro LED晶圆与高性能CMOS背板的晶圆级粘合。
已部署Axus的CMP和Scrubber系统,用于实现关键的晶圆平面化和晶圆级键合的准备。晶圆级键合带来了巨大的技术挑战,即使使用正确的设备,也需要广泛的专业知识和完善的工艺。在2019年,采用Axus的系统后,Plessey了世界首个功能性晶圆级硅基氮化镓单片1080p 0.7英寸对角线8微米像素间距的Micro LED有源矩阵显示器。
Plessey进一步优化这些系统和工艺,在对角线小得多的单色天然绿1080p Micro LED显示器(对角线为0.26英寸)与Compound Photonics 设计的3微米背板显示系统之间成功的进行了晶圆到晶圆粘合,创造了200多万独立电子键。
Plessey与Axus合作伙伴关系的形成,促进针对各种材料的关键CMP工艺的开发,这是实现硅基氮化镓单片Micro LED技术的关键。两家公司的工程师已经通过合作成功在Axus位于亚利桑那的CMP制造厂和Plessey在英国的半导体制造厂进行合作,以实现这些目标。该合作伙伴关系将支持在现有Axus设备套件以及Axus的Capstone CMP系统上扩展大规模生产的技术。