《《PNAS》:具有原子尺度厚分子筛孔的纳米晶石墨烯薄膜!》

  • 来源专题:中国科学院文献情报制造与材料知识资源中心—领域情报网
  • 编译者: 冯瑞华
  • 发布时间:2021-11-22
  • 通过自下而上的合成,在石墨烯晶格中加入高密度的分子筛分纳米孔,对于高性能膜来说是非常有吸引力的。在此,来自瑞士洛桑联邦理工学院的Kumar VaroonAgrawal等研究者,通过控制合成纳米晶石墨烯来实现了上述一目标,其中一些纳米大小的、定向错误的晶粒不完全生长在晶格中生成分子大小的孔隙。相关论文以题为“Bottom-up synthesis of graphene films hosting atom-thick molecular-sieving apertures”发表在Proceedings of the National Academy of Science of the United States of America上。

    直接自底向上合成具有分子筛孔的二维薄膜,是材料化学中一个长期的目标。具有高密度分子大小纳米孔的材料,如沸石、金属-有机框架(MOFs)、共价有机框架、石墨碳氮化物和蛋白质通道,可以在二维拓扑中合成,尽管是以横向尺寸限制为O(1 µm)的纳米片的形式,从而阻碍了通过自下而上的合成实现多孔的、单胞厚膜。另一方面,石墨烯和六方氮化硼(h-BN)的高质量原子厚多晶薄膜的合成可以规模化进行,2017年石墨烯薄膜生产能力超过300万平方米。然而,在缺乏足够的电子密度隙以使分子输运具有合理的能量势垒时,它们的晶格是不可渗透的。

    石墨烯的晶格,可以通过合成后蚀刻来获得有吸引力的分离性能,例如,通过使用电子和离子束或化学蚀刻技术,包括O2、O2等离子体、O3或UV/O3。然而,合成后晶格蚀刻在整个制造过程中,增加了一个额外的、通常是复杂的加工步骤。从膜放大的角度来看,避免这一步是很有吸引力的。这使得自下而上的方法,能够在一个合成步骤中合成纳米多孔石墨烯薄膜,是非常可取的。例如,乌尔曼耦合是产生具有精确孔隙结构的多孔晶格的非常有前途的途径;然而,要扩大目前只有几纳米大小的有序畴,还需要取得重大进展。另一个有前途的策略是设计催化剂,选择性地避免在需要气孔的地方生长石墨烯。

    自底向上合成纳米多孔石墨烯的一个有吸引力的方法是,在其结晶过程中促进本征空位缺陷在石墨烯晶格中的结合。通过改变多晶单层石墨烯(SLG),在催化铜箔上的化学气相沉积条件,证明了分子分离的原理。调节合成温度、前驱体(甲烷、苯)和催化铜箔的粗糙度/取向,可以产生固有的空位缺陷,这些缺陷可以根据尺寸分离小分子,例如H2和CH4。然而,由于空位缺陷密度低,SLG超高分子磁导率的真正潜力,在这些报道中无法实现。

    多晶石墨烯中本征空位缺陷的主要来源,是错位晶粒的不完全共生。因此,要增加这种缺陷的密度,就需要减小晶粒尺寸。此外,为了使空位足够大,以便进行选择性分子易位,还需要增加晶粒之间的错位。据目前所知,在石墨烯中促进小的、错误取向的颗粒结合高密度分子大小的空位的生长条件还没有报道过。

    在此,研究者报道了一种基于碳在镍表面受控沉淀和结晶的石墨烯合成路线,可将石墨烯的晶粒尺寸限制在5纳米以下,并允许通过自下而上的合成路线实现高密度(1012cm−2)的分子筛分本征空位缺陷或纳米孔。纳米晶石墨烯很少分层(2到4层),除了在纳米孔附近,颗粒逐渐变细成为单层,最终终止导致空位(图1A)。这种纳米结构,研究者称之为多孔纳米晶体石墨烯(PNG),对于基于膜的分子分离非常有吸引力,因为层状域增加了薄膜的力学坚固性,原子厚的孔径由于孔隙中心的单一限速过渡状态,使得高渗透率的实现成为可能。

    高密度本征空位缺陷的存在,导致H2渗透率极高(38000气体渗透单元或GPU;1GPU = 3.35 × 10−10 mol m−2s−1Pa−1)。气孔大小与H2的活化迁移和吸引H2/CH4、H2/N2和CO2/N2选择性相对应。其导电性和选择性的结合,可与通过合成后晶格刻蚀制备的最先进的石墨烯膜相媲美。此外,功能化和掩蔽方法可以提高后合成蚀刻石墨烯的性能,可以应用于PNG,以微调特定应用的性能。气孔的氧功能化,使H2/CH4和H2/N2选择性分别提高了150和130%。用亲CO2聚合物掩蔽PNG可以获得很好的碳捕获性能,CO2的渗透率为5700 GPU, CO2/N2分离系数为31。

相关报告
  • 《利用原子力显微镜研究石墨烯在纳米尺度上的功能特性》

    • 来源专题:纳米科技
    • 编译者:郭文姣
    • 发布时间:2021-03-27
    • AZO于2021年3月25日发布关于石墨烯的内容,文章指出在纳米电子或能量转换设备中使用石墨烯时,通常需要对材料进行修饰。这些修饰通常采取吸附或共价结合的形式,然而,原始石墨烯的局部表面不均匀性(例如褶皱)可能会影响其均匀性。 石墨烯的精确纳米级形貌表征至关重要,这必须与评估材料的功能特性相结合。 原子力显微镜(AFM)是这项任务的理想选择,它结合了真实空间地形成像和功能表面特性的精确检测;例如,附着力,电势和模量。AFM促进了石墨烯和其他二维材料在纳米尺度上的整体表征方法。 当材料压缩为二维时,就会产生独特的特性,因此,石墨烯展现出一系列特殊的物理特性。这包括优异的载流子动力学、高机械强度和高导热性。 二维材料如石墨烯有许多潜在的未来应用——从光电子到柔性电子和电化学储能。二维材料的轻量和低维性也引起了奈米电子学研究人员的注意,他们正在研究电子设备的不断缩小 石墨烯在电子设备中的工业应用需要使用大型晶圆尺度的石墨烯薄膜,这促使研究人员将重点放在改进单层生长程序上。催化铜(Cu)上的化学气相沉积(CVD)是本研究中探索最多的途径。 然而,在铜衬底上生长的石墨烯需要随后转移到绝缘衬底上,而这一过程可能会破坏单层,并引入污染物。因此,在绝缘衬底上直接生长是石墨烯未来应用发展的重要一步 本文概述了在爱思强CCS研发反应堆内,在LED级c平面蓝宝石上生长的晶圆级石墨烯的研究。 AFM的多功能性使得它特别适合于研究绝缘蓝宝石上cvd -grow石墨烯的形态和功能特性。因此,Park系统NX20原子力显微镜上的边带开尔文探针力显微镜(KPFM)被用于蓝宝石上石墨烯的表征。 石墨烯和蓝宝石表面之间的表面电位有明显的对比。研究人员还注意到石墨烯褶皱和台阶边缘表面电位的变化。 图1显示了地形和表面电位的三维叠加,清晰地显示了地形特征和KPFM表面电位的相关性。与蓝宝石梯田相比,这种覆盖层可以显著降低石墨烯褶皱和蓝宝石台阶周围的表面电位。表面电位分布也符合用Park的精确纳米力学模式解析的力学特征。 KPFM和纳米力学信号之间的这种相关性表明石墨烯的电子和机械性能之间存在潜在的联系,表明AFM作为一种全面表征技术的潜力,是2D材料的理想选择。
  • 《精准制造:从微纳米迈向原子尺度》

    • 来源专题:能源情报网监测服务平台
    • 编译者:郭楷模
    • 发布时间:2025-01-10
    • 空天海地的网络建设,信息世界感知力、通信力以及智算力的建设,迫切需要高端、新型的硅基芯片。然而‘自上而下’的光刻技术制造方式已经接近物理极限。”在日前举行的香山科学会议上,中国科学院院士许宁生说,全球精准制造的竞争已从微纳米尺度迈向原子尺度,未来硅基芯片的发展水平将取决于大规模原子制造技术水平。 此次香山科学会议聚焦原子制造前沿科学问题。1纳米技术节点被视为硅基芯片制造加工技术的物理极限。晶体中相邻原子的距离大约几个埃(0.1纳米),如果能通过直接操控原子来制造芯片,将颠覆以现有光刻技术为基础的制造规则。 从石器时代走来,人类的制造技艺不断精进,正在走进能精准操控物质最基本单元——原子的时代。与会专家认为,在这个过程中,人类不仅将突破诸多制造极限,也将刷新对基础理论的认知。 有望突破芯片制造极限 当前的芯片制造采用“自上而下”的制造方式。这指的是一种从整块材料开始,通过逐层添加、移除或改变材料性质来构建复杂结构的方法,包括薄膜沉积、光刻胶涂敷、光刻显影、刻蚀、量测、清洗、离子注入等多个环节。 为了在单位面积内实现更多晶体管的布局,2011年,研究人员采用鳍式场效应晶体管技术,改变集成电路结构,突破芯片22纳米制程工艺。进入5纳米技术节点后,电子隧穿问题又催生了环绕式结构、垂直传输场效应晶体管等新的结构设计。 然而,随着加工精度不断提升,宏观方式的制造极限随之而来,仅通过结构的巧妙设计将难以满足人们对芯片计算能力日益增长的需求。尤其是随着生成式人工智能的发展,及其在各行各业的垂直落地,算力不足、计算成本过高等问题逐渐凸显。 “硅基芯片大规模原子制造技术的发展可能带来计算和智能技术的基础性变革。”许宁生认为,应在关键材料研制、微纳结构集成、核心加工制造检测等领域开展关键技术研究,推动实现硅基芯片的原子制造。 那么,什么样的材料适用于芯片等元器件的原子制造?复旦大学物理学系教授张远波介绍,国际上认为二维半导体是1纳米及以下节点的重要材料体系,也是唯一公认能够延续摩尔定律的材料。 二维材料具有独特的单分子层晶体结构,例如石墨烯是由碳原子组成的二维材料。“二维材料及器件有高载流子迁移率、丰富电学性能等特点,在1纳米的条件下仍能正常工作,有望突破传统半导体器件的极限。”张远波介绍,近年来,在二维材料的缺陷调控、应力调控、电荷调控、转角堆叠调控等方面,学界取得了巨大进步。例如,晶圆级的二维材料生长已经实现,基于二维半导体集成工艺也已经能够实现大部分硅基电路功能。 关键在于精准可控组装 尽管不少二维材料实现了较大规模的实验室生产,但二维材料仍难以根据需要“随心”构筑。与会专家认为,操纵二维材料和结构,进而构筑异质结构和器件,实现其性质与功能的人工设计与调控,仍是原子制造的核心科学问题。 “通过学习自然,开发先进制造技术,可以实现原子团簇或分子的精准可控组装与制造。”中国科学院院士刘云圻认为,信息技术微型化发展要求原子制造领域在结构、序列、取向、堆叠方式等方面从简单、无序、经验型向复杂、有序、智能型方向发展。 “更为神奇的是,在微观层面,如果将原子或分子按照我们想要的方式排列,就会获得千变万化的性能。”刘云圻说,这些性能是宏观制造难以获得的。需要深入认识微观分子的反应和组装规律,掌握材料的基本物理性质,进而构筑新型柔性微纳器件,以满足未来对人造智慧体制备的需要。 此外,二维材料制造时的实时在线检测,对其生长的严格控制也十分关键。国家纳米科学中心研究员谢黎明介绍,为了揭示相关二维材料的生长机制,团队研发了高温原位光学成像技术,可在化学气相沉积系统内植入高温显微成像镜头,实现950℃下1微米空间分辨率的二维材料生长实时成像,从而揭示二维材料的生长动力学与生长机制,获得其生长速率、扩散速率等关键参数。 工欲善其事,必先利其器。基于高分辨率的在线观测,以及离线的扫描透射电子显微镜成像数据,团队发展出液相边缘外延生长方法和设备,实现了二硫化钼的全单层生长。 中国科学院物理研究所研究员张广宇团队则基于高质量二维二硫化钼晶圆生长的基础,通过界面缓冲层控制的新策略,在工业兼容的C面蓝宝石衬底上成功外延生长出2英寸的单层二硫化钼单晶薄膜。相较于硅,二硫化钼具有更强的电子控制能力,被认为是制造下一代芯片的理想材料。 瞄准功能“定制”目标 如何使用大规模集成二维材料制备的晶体管,制备运算速度更快、更省电的芯片?这样的芯片究竟长什么样? 张广宇说,从操控原子出发形成最终产品,使其具备结构上的原子精准和功能上的“定制”,是继微纳制造之后的下一代制造技术。当前,原子尺度的相关产品处于萌芽阶段,更多技术路线正在不断研发中。 “后摩尔时代的计算机芯片需要在工艺和架构方面突破经典架构,其中兼容半导体工艺的固态量子计算芯片是一种有竞争力的技术路线。”西安交通大学材料学院自旋电子材料与量子器件研究中心教授潘毅介绍,由高度相干的全同量子点构成的量子比特是构成固态量子芯片的基本单元。 为了制造全同的人工量子点,潘毅团队与德国PDI研究所合作,利用扫描隧道显微镜进行原子操纵,在砷化铟表面构筑了多个全同性良好的人工量子点。这种方法有望成为未来固态量子计算所需的大规模耦合量子点阵列的重要制造方式。 与会专家表示,以定向自组装诱导图形化工艺技术、冷阴极并行电子束直写刻蚀装备技术、大规模扫描探针装备技术、X光光刻装备技术等为代表的加工技术也在不断完善和发展,为工业级别的大规模原子制造提供支撑。