该论文表明,扩展等离子体预处理(PPT)为基础的193 nm光刻胶丙烯酸甲酯(PR)与随后的偏置Ar等离子体处理结合材料会导致水泡的形成,此现象由于超薄,同时由分层聚合物表面离子引起致密的无定形碳(DAC)通过低能量的离子轰击形成层。在实验条件下,表面是1–2 nm厚 SP2和脾细胞主要由无定形碳形成。实验过程显示,他等离子体预处理过程中,挥发性物质的紫外/真空紫外辐射光解高分子侧基产生。此外,挥发性物质扩散到表面积累的DAC层下方,造成从PR散装膜失去粘附和随后的脱层。