《IGaN和SilTerra演示D-MISHEMT在铸造CMOS工艺中使用200mm GaN-on-Si晶圆》

  • 来源专题:集成电路
  • 编译者: Lightfeng
  • 发布时间:2018-12-08
  • 新加坡的IGSS GaN Pte Ltd(IGaN)公司和马来西亚SilTerra.Sdn Bhd宣布了他们最近技术转让合作伙伴关系的结果,证明了在CMOS兼容的制造工艺中,使用200mm GaN-on-Si晶圆的D模式MISHEMT器件的电压为650V。独家合作的成果是建立和转移了无金金属化和CMOS兼容的200mm GaN-on-Si金属-绝缘体-半导体高电子迁移率晶体管(MISHEMT)制造工艺。

    GaN器件用于高功率密度无线功率传输,支持更高的服务器功率,并且氮化镓技术可以释放无线充电应用的潜力,远远超出手机和笔记本电脑等低功耗应用。

    IGaN董事长兼首席执行官Raj Kumar表示:“IGaN提供100-200mm GaN-on-Si外延片和200mm CMOS友好型GaN制造工艺,IGaN和SilTerra共同提供加速器,以促进纯硅和基于化合物的技术转换为GaN-on-Si。与SilTerra的新合作伙伴关系使我们能够在2019年初大规模生产这种强大的新技术。”

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    • 来源专题:集成电路
    • 编译者:张冉冉
    • 发布时间:2024-01-08
    • 目前用于电信或雷达应用的GaN高电子迁移率晶体管(HEMT)技术是在小型GaN/SiC衬底上进行的,需要在专用的洁净室中进行处理。用于生长GaN层的高性能SiC衬底非常昂贵,而且只提供相对较小的尺寸。 据R&D World网2023年12月23日消息,CEA Tech下属研究所Leti已开发出一种与CMOS洁净室兼容的200mm硅基氮化镓(GaN-on-Si)工艺技术。该技术既能保持半导体材料的高性能,又使得成本低于现有的碳化硅基氮化镓(GaN-on-SiC)技术。其有效解决了用于生长GaN层的衬底价格高昂、功率密度微小的问题,并实现了从现有的高性能洁净室设施中获益。 在该研发工作中,开发出的器件专为射频放大器和开关而设计,可用于30GHz左右的应用。与CMOS兼容的200mm硅基SiN/AlN/GaN MIS-HEMT技术在保持高功率密度、高效率、重量轻和结构紧凑的同时,还能够降低设备成本,表现出极大的应用优势。可见,该工艺技术在5G/6G基础设施、卫星通信、无人机探测雷达或地球观测等应用中具有较大的潜力。 虽然这项工艺技术的可靠性测试才刚刚开始,但 CEA-Leti 将在该领域持续开展研发工作,包括提高其MIS-HEMT晶体管的原始输出功率和效率,集成其改进的工艺模块以提高器件性能并将工作频率提高到100 GHz以上,以及在300mm硅晶片上实现GaN/Si芯片的3D集成。
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    • 来源专题:集成电路
    • 编译者:Lightfeng
    • 发布时间:2020-12-06
    • 总部位于新加坡的IGSS GaN Pte Ltd(IGaN)公司以及韩国的A-PRO Semicon Co Ltd举行了项目启动会议,合作生产650V E模GaN功率晶体管。IGaN公司一直专注于生产开发GaN-on-Si / SiC外延晶片和8英寸GaN制造技术的商业化,主要用于电源、频射和传感器应用。A-PRO是A-PRO Co Ltd半导体业务的子公司,该公司主要生产用于功率/ RF电子应用的GaN器件。 在此之前,IGaN投资7300万美元在新加坡建立了GaN Epi中心,从而使合作伙伴可以获得GaN Epi批量生产方面的经验和8英寸(200mm)GaN制造技术的专业知识。 IGaN的首席执行官Raj Kumar说:“通过将IGaN的批量生产成本效益和GaN生产制造中的缺陷控制解决方案与A-PRO Semicon在功率转换和电池管理市场中的现有功能相结合,创造新的协同效应,IGaN旨在推动技术创新和GaN在功率/ RF中的广泛应用,并且可以利用A-PRO Semicon生态系统中的设备和模块/系统。” A-PRO Semicon的技术人员说道:“通过此项激动人心的合作,A-PRO将利用IGaN专有技术来加快E型GaN器件的生产,走上加强8英寸商业化战略的道路。在扩展公司产品组合的同时,A-PRO Semicon可以更好地服务于现有的客户群,其中包括许多领先的科技品牌,并且实现全球性的可持续扩展。” 该合作伙伴关系旨在开拓功率GaN市场,到2025年,市场预计将超过7亿美元。市场研究公司YoleDéveloppement在其《2020年第一季度复合半导体季度市场监测报告》中称2020年为“ GaN年”,特别是在消费快充市场上的兴起。 GaN在功率和射频市场逐渐取代功率电子器件中的硅,因为它的宽带隙功能可以实现更高效的功率转换,因此可以承受更高的电压并允许更快的电流流过器件。此外,IGaN表示,设备工程师可以在相似的电压应用中使用GaN,同时保持较小的占位面积。 http://www.semiconductor-today.com/news_items/2020/nov/igan-apro-301120.shtml