本文主要回顾了在非晶和纳米晶硅及其合金基础上，一些薄膜硅光伏（光伏）技术的最新成就和挑战。我们主要关注材料和设备的发展，包括： （i）改进的等离子体沉积工艺，实现高质量的高密度吸收材料； （ii）基于四氟化硅吸收层，提高在近红外吸收和产生的高频短路电流密度； （III）接口与设备架构的专门优化，以及增强光捕获的多尺度纹理基板和在非活动层减少寄生吸收。本文将描述如何通过结合所有改进措施并在大面积等离子体的精确控制下，实现在细胞层面的稳定效率超过13%。
