东京的设备制造商DISCO Corp已开发出适用于200mm直径的DAD3351半自动切割机晶圆,该模型的每小时吞吐量(UPH)提高5%,占地面积减少10%。此外,还开发了DAD3361和DAD3431模型。随着这三个新型号的开发,DISCO还完成了九个半自动切割锯型号的过渡,并提高了所有型号的生产率和通信支持。
对于批量生产,由于需要时间来处理难以切割的材料,必须安装多个单元并同时并行操作,许多生产现场都采用功能简单的手动切块锯。半自动切割时通信功能在现有模型中会受到限制,很难集中控制,现在改善的通信支持使得能够及时控制多台切块机。
现有的DAD3350半自动切割机是最畅销的型号,可以灵活地支撑各种工件,DAD3351继承了它的功能,主轴轴具有高刚性的桥式框架,并且具有很高的可扩展性,UPH增加了5%,占地面积小,减少了10%。
型号变更的主要内容:通过安装新型PC增强了通信支持和软件支持功能;支持SECS / GEM SEMI设备通信标准和制造设备通信和控制的通用模型;支持一个通讯网络,该通讯网络可以批量控制多个设备。
安装新型的非接触式安装来提高生产率:相对于加工卡盘工作台上表面完成刀片高度测量所需的时间减少了74%;增加测量精度,通过稳定的工件切深来提高加工质量。
改善X,Y和Z轴的性能:为每个轴采用伺服电机和高速通讯支持,可以精确地控制加工轴;通过高精度的控制实现稳定的工件切深,从而提高加工质量。
标准软件创新:采用Windows 10作为操作系统(OS);改进了标准软件的用户界面。