《Nature Electronic:英国剑桥大学发现二维器件关键挑战和解决方案》

  • 来源专题:集成电路与量子信息
  • 发布时间:2024-09-22
  • 二维过渡金属二硫化物(TMDs)是指具有二维层状结构的过渡金属二硫化物,如二硒化钨(WSe?)和二硫化钼(MoS?)。TMDs在电子、光电及光子学领域展现出优异的性能,尤其是在电子器件中的应用,如场效应晶体管(FETs)、光电探测器等方面。尽管二维TMDs展现出巨大的应用潜力,但由于其高缺陷密度和界面问题,成为了研究中的难点和核心问题。

    由于二维TMDs材料中充满了点缺陷,这些缺陷显著影响了器件的性能。此外,这些缺陷还导致了低迁移率和高变异性,使得器件性能难以稳定和提高。此外,二维TMDs的高缺陷密度也使得掺杂过程变得复杂,尤其是p型掺杂,这对高性能FETs的制造构成了挑战。对于TMDs而言,传统的掺杂方法和退化掺杂策略无法直接应用,因此必须寻找新的掺杂技术。另外,高介电常数(high-k)介质的开发也是一个关键问题。为了提高二维TMDs电子设备的性能,必须找到既能与二维材料兼容,又不会对其通道特性产生负面影响的高介电常数介质。此外,清洁的范德瓦耳斯(vdW)界面的实现也是提高器件性能的关键因素。这要求在金属/半导体和半导体/介质之间建立良好的界面,从而减少界面态和不意图掺杂的影响。

    剑桥大学王琰以一作兼通讯、Manish Chhowalla教授团队近期的研究成果对二维过渡金属二硫化物(TMDs)电子设备发展的关键挑战进行深入分析,并提出了有效的应对策略。该研究成果在以题名“Critical challenges in the development of electronics based on two-dimensional transition metal dichalcogenides”发表在“Nature Electronics”期刊上。该论文指出,研究人员正在积极探索高质量二维TMDs材料的合成方法,以降低缺陷浓度,并优化金属、电介质和二维半导体之间的界面。近期的研究着重于提高材料的晶圆级合成质量,以及开发与工业兼容的高介电常数介质,从而推动TMDs电子设备的实际应用。通过这些研究,期望能够克服现有的技术挑战,实现高性能、稳定和可扩展的二维TMDs电子器件。该研究团队还开发了基于二维(2D)过渡金属二硫化物(TMDs)半导体的高性能电子设备,从原理验证演示进展到更可重复的集成设备。 实验通过优化材料质量以及金属接触、电介质和二维半导体之间的界面,发现以下关键挑战和解决方案:1. 掺杂问题:高缺陷密度导致掺杂困难,影响了器件性能的稳定性。

    2. p型接触:实现高性能p型接触仍面临挑战,需要更有效的材料和工艺来优化接触性能。

    3. 高介电常数介质:需要与CMOS兼容的高介电常数介质,这些介质不会对二维TMD通道产生负面影响。


  • 原文来源:https://doi.org/10.1038/s41928-024-01210-3
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