SecureFoundry公司今天推出了其基于欧洲原创架构的Hyper-Beam Array (HBA)光刻系统，这是一种新一代光刻技术。与单束和多束方法不同，HBA系统使用数万个独立控制的电子束，在15分钟内即可完全图案化一个100mm的晶圆，效率远超现有的电子束技术。HBA工具支持晶圆级集成、先进的扇出封装，以及在一次运行中实现多种设计变化，为AI芯片设计师提供了快速实验和反馈的机会。与传统的光刻技术不同，HBA光刻无需昂贵的掩模且具有较短的周期时间，采用65,000个平行电子束直接对晶圆进行图案化，每个束流独立控制。系统通过两次扫描晶圆，自动补偿任何漏掉的图案，确保系统的可靠性和一致性，并提供细粒度的控制和高保真度的图案放置。HBA光刻系统特别适用于混合量生产和安全关键应用场景，具备灵活性、可追溯性和重复性。该系统也填补了半导体供应链中设计、研究和开发之间的空白，支持研究机构、国防承包商和商业合作伙伴寻求敏捷的本地解决方案。
