《透明球体简化三维纳米光刻技术》

• 来源专题：半导体工艺技术
• 发布时间：2014-12-10

卡罗来纳州罗利市，2014年12月9日 - 采用纳米微球可以使3-D结构的制造更容易，同时降低了光刻技术制造成本。这项新技术，是北卡罗莱纳州立大学的一个团队开发的。他们基于胶体颗粒的斜照明，采用纳米球和紫外光，产生复杂的对称空心3D纳米结构。该方法可用于各种生物医学，电子和光子应用。