美国外延沉积和工艺设备制造商Veeco Instruments表示,其Propel HVM金属有机化学气相沉积系统被韩国A-Pro半导体业务子公司A-Pro Semicon Co Ltd选中,用于开发和生产基于氮化镓(GaN)的功率半导体和5G RF器件。这是由于该系统具有出色的均匀性,操作效率和经过验证的性能,可进行大批量生产。
据联合市场研究公司(Allied Market Research)估计,2019年全球GaN功率器件市场为1亿美元,从2020年开始,将以35%的复合年增长率(CAGR)增长至2027年的12亿美元。增长的原因有GaN器件的价格下降,无线充电的GaN器件需求的增加、电动汽车(EV)中采用GaN器件的数量以及用于商业RF应用的GaN器件的增加等。
Veeco表示,其Propel HVM系统为基于GaN的应用提供了大容量、单晶片反应器配置,具有均匀性、重复性和成品率性能,这得益于GaN MOCVD技术数十年的生产规模专业知识。该系统提供200毫米和300毫米配置,最多6个模块化集群室,以实现最大生产力和灵活性,适用于铸造厂和集成设备制造商(IDM)。
Veeco的单晶片Propel HVM平台具有A-Pro Semicon所需要的灵活性和多功能性。因此A-Pro Semicon选择Propel HVM平台作为第一个MOCVD系统,可以帮助扩大其在GaN功率半导体和5G市场中的地位。Propel系统套件以其可靠的高性能和高产量推动了关键技术的革新,例如电源、5G RF和光子学应用,这些趋势正在推动着A-Pro Semicon使用GaN MOCVD技术扩展5G RF技术并使之商业化。