研究了钯纳米粒子修饰的石墨烯在氢传感器中的应用。纳米粒子的密度对传感器的性能至关重要。我们开发了一种新的化学方法在石墨烯上沉积高密度、小尺寸和均匀分布的Pd纳米颗粒。通过这种方法,Pd前体连接到石墨烯通过π-π债券不引入额外的碳六角晶格缺陷。我们的方法简单、廉价,并且与互补金属氧化物半导体(CMOS)技术兼容。该方法用于在3英寸硅片上制作氢传感器。该传感器在室温下具有良好的性能。特别是在光照下,传感器的恢复时间更短。对其传感机理进行了阐述和讨论。该沉积方法有利于石墨烯传感器的大规模制造,并可与CMOS电路集成用于实际应用。
——文章发布于2019年3月06日