《烟台新型半导体技术研究院明年投用》

  • 来源专题:光电情报网信息监测服务平台
  • 编译者: husisi
  • 发布时间:2021-04-12
  • 烟台新型半导体技术研究院由烟台业达经济发展集团有限公司、烟台睿创微纳技术股份有限公司共同出资成立,总投资5亿元,建筑面积约1.5万平方米,主要面向5G通讯、新能源汽车、自动驾驶、工业互联网等应用领域,建设一条8英寸微机电系统工艺线和一条化合物半导体工艺线,打造集特色芯片及智能微机电系统传感器设计、制造与测试一体化的公共服务平台。
    项目预计2022年初投入运营,全部建成后,将成为胶东地区首个新型半导体公共服务平台,将大大推动烟台市乃至胶东地区半导体产业发展壮大。
    半导体研究院项目包括建设一条化合物半导体芯片工艺线和一条MEMS工艺线,满足研发、中试要求,并为烟台发展新型半导体产业提供平台支持。
    其中,化合物半导体芯片工艺线面向半导体激光器、光电探测器、微波器件以及功率器件;MEMS工艺线面向高端光学MEMS器件、RFMEMS器件和惯性MEMS传感器等。项目达产后,预计年产能2.5万片,年产值1.6亿元。
    此外,项目的建设有利于当地形成产业特色集群,促进产业链发展。睿创微纳认为,项目可以充分发挥投资双方在技术、资源等方面的优势,立足区域产业实际,通过建设新型半导体研发制造公共服务平台,为科研院所、企业等机构提供MEMS及化合物半导体产品研发和中试服务,不仅可以带动区域内产业链相关企业发展,还可以吸引大量的区外企业、人才、资本聚集,建立从芯片、器件、模组到整机终端的完整产业链和产业集群。在产业链融合发展的同时,有助于公司在光电领域布局发展,并建设良好的资源池。
    国内绝大多数新建的半导体工艺线都是针对电源、存储、逻辑、处理器等通用芯片,对于半导体激光器、微波器件和功率器件等高端特色芯片,国内只有少数研究所和地方政府、国有企业拥有自建的工艺线,难以满足公司亟需的研发中试需求。
    目前,中国是全球最大的功率半导体消费市场。根据Omida统计,2021年中国功率半导体市场需求规模达到159亿美元,占全球市场比例高达36%。在政策支持下,中国功率半导体行业有望进入黄金发展期。
    IHSMarkit预测,2021年全球功率半导体市场规模将增长至441亿美元。从下游应用看,汽车占比约23%,消费电子应用占比约20%,无线通讯应用占比为23%,工业应用市场占比为34%。

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  • 《广东省半导体产业技术研究院江门中心正式成立》

    • 来源专题:光电情报网信息监测服务平台
    • 编译者:husisi
    • 发布时间:2019-10-18
    • 10月11日,珠西科技产业创新服务中心挂牌仪式暨广东省半导体产业技术研究院江门中心成立大会,在江门市国家高新区火炬大厦隆重举行。江门市委常委统战部长历为民、省科学院副院长李定强、江门市政协副主席任安良、江海区区长劳茂昌、江门市科技局局长冯一宁、省科学院对外合作部副主任裘钢、省半导体院党委书记彭海宁,省科学院产业育成中心党委书记赵明、省工业检测中心副主任林义民,以及江门市相关政府部门领导、企业负责人,省半导体院学科带头人、平台负责人、科研骨干100余人参加成立大会。 利为民在致辞时强调,江门市委、市政府积极推进产学研协同创新,加强与省科学院等国内高水平高校院所合作,大力引进优质科技资源,构建开放、协同、融合的创新新格局。希望进一步加强与省科学院24个骨干科研院所的合作,加快筹建省科学院江门产业技术研究院,推动双方合作向更高层次、更广领域发展。 李定强在致辞时表示,省半导体院江门中心的成立,既是全面贯彻落实《广东省科学院与江门市人民政府全面战略合作框架协议》先行举措,也是发挥双方优势,促进产学研融合推动新一代半导体等战略性新兴产业创新发展,助力粤港澳大湾区建设的实际行动。今后省科学院将积极拓展双方合作的广度与深度,围绕江门市产业经济和社会发展需求,通过引进产业化创新团队,开展项目合作,建立科技创新公共服务平台,建设孵化器、中试基地和产业园区等创新载体,促进江门市战略性新兴产业培育和传统产业转型升级。 随后,冯一宁和彭海宁分别代表江门市科技局、省半导体院签订共建江门中心合作协议,省半导体院代表赵维分别与广东世运电路科技有限公司、广东德力光电有限公司、江门市浩远电子科技有限公司等企业签订了合作协议,未来双方将在PCB先进封装工艺技术、LED高清封装载板技术、紫外LED材料等方面开展产学研合作。 会上,各位领导嘉宾共同为江门市珠西科技产业创新服务中心与省半导体院江门中心的揭牌。李定强还为江门市首个“省科学院企业工作站”——广东世运电路科技有限公司举行了授牌仪式。
  • 《德国联邦物理技术研究院(PTB)用世界上最高精度的光波纳米尺为半导体行业提供黄金标准的校准服务》

    • 来源专题:计量基标准与精密测量
    • 编译者:张宇
    • 发布时间:2024-11-28
    • 近日,德国联邦物理技术研究院(PTB)的测量专家Gaoliang Dai,开发出了世界上最高精度的光波纳米尺,而纳米尺其中的一个典型应用就是 PTB 的计量原子力显微镜,它使用几乎跟原子体积一样细的尖端扫描表面。它对表面的原子力做出反应。尖端的移动是通过光的干涉来测量的,也就是回溯到光的波长,而光的波长又通过 PTB 的原子钟以最高的精度来确定。(这些原子钟不仅仅是时钟,也是波长或频率的标准。) PTB的计量学原子力显微镜在世界上是独一无二的:它的测量范围是传统设备的1000倍,测量速度是传统设备的10倍以上。其测量精度无与伦比:高度测量的测量不确定度为0.3nm,平均结构距离的测量不确定度高达15pm。这大约相当于晶圆上两个硅原子之间距离的一半或三分之一。该显微镜描绘了纳米世界的一切:每一个曲率,每一个粗糙度。这就是纳米世界美丽、多彩图像的创建方式。 当然,这种美丽本身并不是目的。“如果你不能测量它,你就无法管理它——据说经济学家彼得·德鲁克(Peter Drucker)是这么说的。在半导体行业尤其如此,“Gaoliang Dai高粱解释道。这位物理学家是PTB 3D纳米计量工作组的负责人,他解释说:晶体管离芯片越近,制造过程就越复杂。高科技芯片上的结构大小约为20纳米。这相当于大约40个原子的大小。超过50%的芯片制造步骤可能涉及复杂纳米结构的测量或表征。测量参数包括关键尺寸(CD)——尺寸和形状、薄膜厚度、表面和界面特性、物理特性、缺陷以及相关参数。它们有助于说明结构-功能关系。“为了保证产品质量,会不断进行大量的测量,” Gaoliang Dai说。 为此,在生产中使用了一系列不同的测量仪器,这些仪器基于不同的物理原理并相辅相成:光学、离子、电子、X射线和表面力方法。他们的结果流入一个计量数据库,然后通过数据融合或人工智能推导出监控和优化制造过程的措施。“然而,有一个基本问题,”Gaoliang Dai说:“这些测量结果也具有可比性吗?换句话说,所有设备测量的事物都完全相同吗?Gaoliang Dai通过使用计量学原子力显微镜和其他一些全球最精密的测量仪器来解答这个问题,制造这些仪器需要大量的物理知识,它们为工业生产提供支持。 纳米世界中的计量学远比我们日常生活中的要复杂得多。“精确的测量需要对物理学的深刻理解,而这远远超出了显而易见的范畴,” Gaoliang Dai解释说。例如,计量可以通过测量针尖的尺寸以及针尖与测量对象之间的复杂相互作用进而对计量学发展产生显著影响或改变。 “为了实现尽可能高的精度,除了逐步改进之外,还需要创新的方法,” Gaoliang Dai引用了当前的例子:“PTB开发的一种开创性方法,该方法使用晶体硅的原子距离(一种自然常数)作为一种新型纳米尺。“这个被称为'自下而上'的方法,现在已得到全球计量学界的公认和应用。国际计量局(BIPM)的长度咨询委员会(CCL)推荐它作为纳米测量的米二级实现方法。”Gaoliang Dai自豪地说。 新方法与已建立的纳米尺相结合,被作为最高精度的各种纳米校准标准。标准(英文:standard)是具有非常精确的已知尺寸的可比较对象。例如,我们有台阶高度、宽度、厚度或粗糙度的标准。从事工业生产的企业可以通过它们来检查和校准其测量器具。 在一个项目中,PTB对AMTC公司的EUV光刻掩模进行了可追溯和非破坏性的校准。为了双重验证测量结果,其中一个掩模还被用透射电子显微镜进行了额外检查。然而,不幸的是,这种额外检查会彻底破坏EUV光刻掩模。但为了验证最终的测量结果的准确性,这种损耗是必要的:“因为两种物理上完全不同的计量方法都提供了相同的结果,”Gaoliang Dai说,“只有这样才能准确可靠地测量结构,制造公司才能将他们的掩模作为黄金标准在工业生产中使用。黄金标准是工业生产中最高级别的标准。 PTB的专业计量技术也被纳入许多工业合作项目中。其中一项于2024年初推出,采用了一种全新的计量方法。在这个项目中,PTB正在与来自欧洲各地的研究和工业界的众多合作机构一起开发一种“绿色”光刻胶。它的原料生长在海里:来自甲壳类动物的甲壳素。如果对其进行特殊处理,它会像现在使用的化学物质一样对光敏感。该项目将再持续研究两年时间。“在那之后,我们也许能够将我们食用后的废弃物用于半导体光刻,” Gaoliang Dai说。初步研究结果显示这个目标非常有希望实现。这个名为RESIN GREEN的项目的成功对他来说是近在咫尺的事情:“我们当然有责任,”这位科学家解释说。“能够在这个行业使用环境友好型的替代原材料是一件非常重要的事情。”