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Dry Etching for VLSI
EISBN：
9781489925664
PISBN：
9780306438356
出版社：
Springer US
出版类型：
Contributed volume
出版时间：
1991
版次：
1991
作者：
A.J. van Roosmalen,J.A.G. Baggerman,S.J.H. Brader
主题词：
Physics,Nuclear Physics,Heavy Ions,Hadrons,Classical and Continuum Physics,Electrical Engineering,Optical and Electronic Materials
语种：
英语
所属数据库：
SpringerLink电子图书(1815-2004)
丛书题名：
Updates in Applied Physics and Electrical Technology
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