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Design and Manufacturing of Active Microsystems
EISBN：9783642129032
PISBN：9783642129025
出版社：Springer Berlin Heidelberg
出版类型：Monograph
出版时间：2011
作者：Stephanus Büttgenbach,Arne Burisch,Jürgen Hesselbach
主题词：Nanotechnology and Microengineering,Mechatronics,Operating Procedures,Materials Treatment,Nanotechnology
语种：英语
所属数据库：SpringerLink电子图书
丛书题名：Microtechnology and MEMS
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