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Physical Design and Mask Synthesis for Directed Self-Assembly Lithography
EISBN:
9783319762944
PISBN:
9783319762937
出版社:
Springer International Publishing
出版类型:
Monograph
出版时间:
2018
版次:
1st ed. 2018
作者:
Seongbo Shim,Youngsoo Shin
主题词:
Materials Science,Nanotechnology,Nanotechnology and Microengineering,Circuits and Systems,Optical and Electronic Materials,Nanoscale Science and Technology,Semiconductors
语种:
英语
所属数据库:
SpringerLink电子图书
丛书题名:
NanoScience and Technology
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出版时间:
2013
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