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Growth of High Permittivity Dielectrics by High Pressure Sputtering from Metallic Targets
EISBN：
9783319666075
PISBN：
9783319666068
出版社：
Springer International Publishing
出版类型：
Monograph
出版时间：
2017
版次：
1st ed. 2017
作者：
María Ángela Pampillón Arce
主题词：
Surface and Interface Science,Thin Films,Nanotechnology,Electronic Circuits and Devices,Nanotechnology and Microengineering
语种：
英语
所属数据库：
SpringerLink电子图书
丛书题名：
Springer Theses
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Springer Netherlands
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