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Pulsed and Pulsed Bias Sputtering
EISBN：9781461504115
PISBN：9781402075438
出版社：Springer US
出版类型：Contributed volume
出版时间：2003
作者：Edward V. Barnat,Toh-Ming Lu
主题词：Optical and Electronic Materials,Surfaces and Interfaces,Thin Films,Physical Chemistry,Polymer Sciences
语种：英语
所属数据库：SpringerLink电子图书
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