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Atomic Layer Deposition
EISBN：9783039366521
PISBN：9783039366538
出版社：MDPI
出版类型：ebook
出版时间：2020-08-11
学科：P 天文学、地球科学,Q 生物科学,O 数理科学和化学,O3 力学,O4 物理学,P3 地球物理学,P14 天体物理学,Q6 生物物理学
语种：英语
所属数据库：易阅通电子书平台-国科大
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