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Introductory MEMS
EISBN：9780387095110
PISBN：9780387095103
出版社：Springer US
出版类型：Graduate/advanced undergraduate textbook
出版时间：2010
版次：1
作者：Thomas M. Adams,Richard A. Layton
主题词：Electronics and Microelectronics,Instrumentation,Circuits and Systems,Mechanics,Surfaces and Interfaces,Thin Films,Continuum Mechanics and Mechanics of Materials
语种：英语
所属数据库：SpringerLink电子图书
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