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Fundamental Aspects of Ultrathin Dielectrics on Si-based Devices
EISBN：
9789401150088
PISBN：
9780792350071
出版社：
Springer Netherlands
出版类型：
Contributed volume
出版时间：
1998
版次：
1998
作者：
Eric Garfunkel,Evgeni Gusev,Alexander Vul'
主题词：
Materials Science,Optical and Electronic Materials,Surfaces and Interfaces,Thin Films
语种：
英语
所属数据库：
SpringerLink电子图书(1815-2004)
丛书题名：
Nato Science Partnership Subseries: 3
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