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Ultraclean Surface Processing of Silicon Wafers
EISBN：9783662035351
PISBN：9783540616726
出版社：Springer Berlin Heidelberg
出版类型：Handbook
出版时间：1998
版次：1998
作者：Takeshi Hattori
主题词：Engineering,Electronics and Microelectronics,Instrumentation,Condensed Matter Physics,Surfaces and Interfaces,Thin Films,Optical and Electronic Materials
语种：英语
所属数据库：SpringerLink电子图书(1815-2004)
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