Low Pressure Plasmas and Microstructuring Technology

EISBN:9783540858492
PISBN:9783540858485
出版社:Springer Berlin Heidelberg
出版类型:Monograph
出版时间:2009
作者:Gerhard Franz
主题词:Optical and Electronic Materials,Electronics and Microelectronics,Instrumentation,Surfaces and Interfaces,Thin Films,Atomic/Molecular Structure and Spectra
语种:英语
所属数据库:SpringerLink电子图书
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