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Micromachines as Tools for Nanotechnology
EISBN：9783642555039
PISBN：9783540008569
出版社：Springer Berlin Heidelberg
出版类型：Monograph
出版时间：2003
版次：2003
作者：Hiroyuki Fujita
主题词：Materials Science,Nanotechnology,Condensed Matter Physics,Engineering,general,Electronics and Microelectronics,Instrumentation
语种：英语
所属数据库：SpringerLink电子图书(1815-2004)
丛书题名：Microtechnology and MEMS
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