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Fundamental Aspects of Silicon Oxidation
EISBN：
9783642567117
PISBN：
9783540416821
出版社：
Springer Berlin Heidelberg
出版类型：
Monograph
出版时间：
2001
版次：
2001
作者：
Yves J. Chabal
主题词：
Materials Science,Optical and Electronic Materials,Surfaces and Interfaces,Thin Films,Electronics and Microelectronics,Instrumentation,Characterization and Evaluation of Materials
语种：
英语
所属数据库：
SpringerLink电子图书(1815-2004)
丛书题名：
Springer Series in Materials Science
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