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Reactive Sputter Deposition
EISBN：
9783540766643
PISBN：
9783540766629
出版社：
Springer Berlin Heidelberg
出版类型：
Monograph
出版时间：
2008
作者：
Diederik Depla,Stijn Mahieu
主题词：
Surfaces and Interfaces,Thin Films,Condensed Matter Physics,Physical Chemistry,Industrial Chemistry/Chemical Engineering
语种：
英语
所属数据库：
SpringerLink电子图书
丛书题名：
Springer Series in Materials Science
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